光学反射膜厚仪FILMTHICK-Mapping FILMTHICK-Mapping 2026040301

产品说明

景颐光电膜厚测量仪FILMTHICK系列利用光干涉原理，机械结构集成的进口卤钨灯光源，使用寿命超过10000小时。FILMTHICK对样品进行非接触式、无损、高精度测量，可测量反射率、颜色、膜厚等参数。可应用于半导体薄膜、液晶显示、光学镀膜、生物医学等薄膜层的厚度测量。OPTICAFILMTEST光学膜厚测量软件采用FFT傅里叶法、极值法、拟合法多种高精度算法，包含了类型丰富的材料折射率数据库，开放式材料数据库，有效地协助用户进行测试分析，测量期间能实时显示干涉、FFT波谱和膜厚等趋势。

Mapping型号特点：

通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射谱，同时搭配高精度R-Theta 位移台，可对整个样品进行快速扫描。

该系统具有以下特点：

①自动快速测量，单点时间＜0.5s；

②点位编程，呈现 D 分布；

③兼容 2 - 12 寸晶圆片。

能够快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息，并对膜厚均匀性做出评价。

测控与分析软件

• 光谱测量能力：反射率光谱测量

• 数据分析能力：膜厚分析能力，光学常数（折射率和消光系数）

• 软件使用Windows平台，设置不同级别的用户登录，如（Manager/Operator） 等：高级别用户可以修改Recipe；Operator只能运行已有的Recipe

• 以文字或图形的方式显示当前正在运行的Recipe名、测量位置编号、剩余时 间等参数

• 软件具有历史记录功能，可存储历史记录文件

• 软件可以根据需求设备测量点数

• 可以生成2D或者3D图形

• 绘图功能：Mapping（contour），Line 等

• 统计功能：Max, Min, Average, Median, STD 等

• .输出数据形式可定制，格式为CSV或EXCEL格